苏州欧米特光電(diàn)科(kē)技有(yǒu)限公司

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MT-300高精密半导體(tǐ)检查金相工具量测显微镜类别:半导體(tǐ)显微镜

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产品详情

光學(xué)系统

无限遠(yuǎn)光學(xué)系统

观察头

30°倾斜,正像,无限遠(yuǎn)铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,两档分(fēn)光比 100/0 或 0/100

目镜

高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm,可(kě)带测微尺

转换器

内定位 5 孔转换器

物(wù)镜

5X无限遠(yuǎn)長(cháng)工作距平场消色差金相 DIC 物(wù)镜

 

10X无限遠(yuǎn)超長(cháng)工作距平场消色差金相 DIC 物(wù)镜

 

20X无限遠(yuǎn)超長(cháng)工作距平场消色差金相DIC物(wù)镜

 

50X无限遠(yuǎn)長(cháng)工作距平场明场消色差金相物(wù)镜

 

100X无限遠(yuǎn)超長(cháng)工作距平场明场半复消金相物(wù)镜

放大倍率

光學(xué)放大倍率 :50X-1000X

 

系统放大倍率 :135X-2700X

测量显微镜主體(tǐ)

手动测量平台(行程 200mm(X)×100(Y)mm,带数显器;样品高度 175mm;
 测量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為(wèi)测量長(cháng)度(单位 mm) Z:(3+L/200)μm

 

手动测量平台(行程 300mm(X)×200(Y)mm,带数显器;样品高度 175mm;
 测量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為(wèi)测量長(cháng)度(单位 mm) Z:(3+L/200)μm

 

手动测量平台(行程 400mm(X)×300(Y)mm,带数显器;样品高度 175mm;
 测量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為(wèi)测量長(cháng)度(单位 mm) Z:(3+L/200)μm

照明系统

明场反射照明器,带明场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽,带 5WLED 灯源,亮度可(kě)调(含托架适配器)

 

辅助对焦模块,带对焦分(fēn)划板两档,

调焦方式

手动粗微调手轮调节,精度0.001mm,调焦距离 175mm

偏振光

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

DIC 组件

微分(fēn)干涉组件

相机

像素630 万 ;3072(H)×2048(V) ;帧率 :30fps ;接口 :USB3.0 ;图像传感器 :CMOS(彩色)

摄像接口

0.65XCTV、C 型接口、可(kě)调焦

PC

品牌電(diàn)脑和22寸显示器

软件

OMT-1.5精密测量软件

标尺

0.01mm


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